利用苯系蒸汽对石墨烯表面处理的方法及应用

发明专利无效专利

申请号：
CN202010818588.7
IPC分类号：H01L21/02;H01L21/67;H01L21/336
申请日期：
2020-08-14
申请人：
孙鹏

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专利名称	利用苯系蒸汽对石墨烯表面处理的方法及应用
申请号	CN202010818588.7	申请日期	2020-08-14
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2020-11-20	公开/公告号	CN111968908A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;3;3;6查看分类表>
申请人	孙鹏	申请人地址	黑龙江省哈尔滨市五常市五常镇东方红街新华小区1号楼302室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	孙鹏	当前权利人	孙鹏
发明人	孙鹏
代理机构	北京君恒知识产权代理有限公司	代理人	暂无

摘要

本发明涉及石墨烯领域，更具体的说是利用苯系蒸汽对石墨烯表面处理的方法及应用。利用苯系蒸汽对石墨烯表面处理的方法，包括以下步骤步骤一、将衬底夹持固定；步骤二、在衬底上涂抹石墨烯溶液；步骤三、将衬底放入真空容器内，利用苯系蒸汽对衬底上的石墨烯层进行表面处理；上述利用苯系蒸汽对石墨烯表面处理的方法还涉及一种石墨烯表面处理装置；所述石墨烯表面处理装置包括托板、夹杆、弧形弹杆、横移柱、支座、转筒、限位块和摩擦轮，转筒转动连接在托板的中心位置，转筒的外侧固定连接有两个限位块，两个限位块分别位于托板的上下两侧，转筒上部的左右两端均固定连接有支座，两个横移柱分别滑动连接在两个支座上。

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