抛光用组合物以及抛光方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200710143759.5
IPC分类号：C09G1/06;C09G1/02;H01L21/304
申请日期：
2007-08-02
申请人：
福吉米股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	抛光用组合物以及抛光方法
申请号	CN200710143759.5	申请日期	2007-08-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2008-02-06	公开/公告号	CN101117548
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C09G1/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用 C09G 虫胶清漆除外的抛光组合物；滑雪屐蜡 C09G1/00 抛光组合物（虫胶清漆入C09F 11/00；洗涤剂入C11D） C09G1/06 其他抛光组合物	IPC分类号	C;0;9;G;1;/;0;6;;;C;0;9;G;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;0;4查看分类表>
申请人	福吉米股份有限公司	申请人地址	日本岐阜县各务原市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福吉米股份有限公司	当前权利人	福吉米股份有限公司
发明人	河村笃纪;服部雅幸
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	孙秀武;李平英

摘要

本发明提供在半导体布线工艺中，非常适合在对含有铜的导体层进行抛光的用途中使用的抛光用组合物。本发明的抛光用组合物的特征在于：含有化学式R1-Y1或R1-X1-Y1所示的至少一种阴离子表面活性剂，其中R1表示烷基、烷基苯基或烯基，X1表示聚氧乙烯基、聚氧丙烯基或聚(氧乙烯·氧丙烯)基，Y1表示阴离子性官能团，和化学式R2-X2所示、且HLB值为10-16的至少一种非离子表面活性剂，其中R2表示烷基，X2表示聚氧乙烯基、聚氧丙烯基或聚(氧乙烯·氧丙烯)基，并且该抛光用组合物的pH为2-9。

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