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基于3D打印制备LED器件电极的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610120569.0
  • IPC分类号:H01L33/36;H01L33/00
  • 申请日期:
    2016-03-04
  • 申请人:
    太原理工大学
著录项信息
专利名称基于3D打印制备LED器件电极的方法
申请号CN201610120569.0申请日期2016-03-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-05-11公开/公告号CN105576099A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L33/36IPC分类号H;0;1;L;3;3;/;3;6;;;H;0;1;L;3;3;/;0;0查看分类表>
申请人太原理工大学申请人地址
山西省太原市迎泽西大街79号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人太原理工大学当前权利人太原理工大学
发明人许并社;朱亚丹;卢太平;赵广洲
代理机构太原科卫专利事务所(普通合伙)代理人朱源
摘要
本发明属于光电子器件领域,具体为一种基于3D打印制备LED器件电极的方法。本发明将MOCVD或MBE生长的至少具有缓冲层、N型层、多周期的量子阱有源层及P型层的外延片作为基底材料,采用3D打印在P型层台面上打印ITO导电层、然后刻蚀出N型层的台面、再打印N型电极及P型电极层。基于3D打印形成LED器件电极结构,不仅能够减少电极制备过程中的光刻及刻蚀工艺步骤,缩短生产周期,降低光刻及刻蚀过程可能对外延片造成的污染和损伤几率,还能够降低电极形成过程中高温退火过程对量子阱有源区界面结构的破坏,从而提高LED器件的发光效率。

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