基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌高阶微环传感器及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210546593.2
IPC分类号：G01D5/353;G01N21/45
申请日期：
2012-12-17
申请人：
上海大学

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著录项信息

专利名称	基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌高阶微环传感器及其制备方法
申请号	CN201210546593.2	申请日期	2012-12-17
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-04-17	公开/公告号	CN103048003A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D5/353 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D5/00 用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器（G01D 3/00优先；专门适用于给出除变量的瞬时值以外的结果的仪表入G01D 1/00）〔6〕 G01D5/26 采用光学装置，即应用红外光、可见光或紫外光 G01D5/32 利用光束的减弱或者全部或局部的闭塞（G01D 5/40优先） G01D5/34 利用光电元件检测光束 G01D5/353 影响光纤的传输特性〔6〕	IPC分类号	G;0;1;D;5;/;3;5;3;;;G;0;1;N;2;1;/;4;5查看分类表>
申请人	上海大学	申请人地址	上海市宝山区上大路99号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海大学	当前权利人	上海大学
发明人	张小贝;李迎春;戴骏;陈黄超;申云
代理机构	上海上大专利事务所（普通合伙）	代理人	何文欣

摘要

本发明提出了一种基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌高阶微环传感器及其制备方法，本传感器由一个U型波导和三个微环谐振器组成。该传感器结合了高阶微环谐振器的高灵敏度特性和U型波导导致的马赫曾德干涉效应，具有灵敏度高和响应快的优良特性。而且该器件的输入端和输出端在同一侧，更有利于进行传感检测，便于与其他器件的集成。相比于其他光学传感器件，该发明具有低成本、结构紧凑、灵敏度高、制作工艺简便等优点，在光传感器件领域中具有广阔的应用前景。

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