一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201820998893.7
IPC分类号：C23C14/34;C23C14/50
申请日期：
2018-06-27
申请人：
兰州空间技术物理研究所

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专利名称	一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构
申请号	CN201820998893.7	申请日期	2018-06-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0查看分类表>
申请人	兰州空间技术物理研究所	申请人地址	甘肃省兰州市城关区渭源路97号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	兰州空间技术物理研究所	当前权利人	兰州空间技术物理研究所
发明人	陈飞鹏;夏成明;刘强;魏广;骆水连;洪明;秦丽丽;李亚丽
代理机构	北京理工大学专利中心	代理人	张洁;仇蕾安

摘要

本实用新型属于机械工程结构领域，涉及一种溅射镀膜设备工件转架动密封传动结构。包括法兰盘、套筒、驱动机构、主动转子、主动转子皮带轮、被动转子、旋转轴和密封隔离件，法兰盘的一端固定在真空室外壁上，另一端与套筒固定，主动转子皮带轮通过连接部与主动转子连接，皮带轮的内壁与套筒的外壁为间隙配合，驱动机构与主动转子皮带轮连接，旋转轴的一端与真空室内的工件转架连接，另一端与被动转子连接；主、被动转子永磁体间通过密封隔离件隔离。工作时，主动转子通过永磁体产生的磁力驱动被动转子做旋转运动，从而带动工件转架一同旋转。解决了动密封传动的可靠性、泄漏和污染问题，确保真空溅射镀膜设备真空环境和镀膜的工艺稳定性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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