声波器件及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201110023082.8
IPC分类号：H03H9/205;H03H3/02
申请日期：
2011-01-20
申请人：
张浩

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引证文献

著录项信息

专利名称	声波器件及其制作方法
申请号	CN201110023082.8	申请日期	2011-01-20
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2011-05-25	公开/公告号	CN102075161A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H03H9/205 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H03 基本电子电路 H03H 阻抗网络，例如谐振电路；谐振器（测量，试验入G01R；产生混响或回声装置入G10K 15/08；由分布阻抗，例如波导型，组成的阻抗网络或谐振器入H01P；放大的控制，例如放大器的带宽控制入H03G；调谐谐振电路，例如调谐耦合谐振电路入H03J；改善通信系统频率特性的网络入H04B） H03H9/00 包括机电或电声器件的网络；机电谐振器（制造压电或磁致伸缩元件入H01L 41/00；扬声器，话筒，唱机拾音器或类似物入H04R） H03H9/15 由压电或电致伸缩材料构成的谐振器的结构特点（H03H 9/25优先）〔3〕 H03H9/205 有多个谐振器（晶体调谐音叉入H03H 9/21）〔3〕	IPC分类号	H;0;3;H;9;/;2;0;5;;;H;0;3;H;3;/;0;2查看分类表>
申请人	张浩	申请人地址	天津市滨海新区经济技术开发区新业五街27号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	诺思（天津）微系统有限责任公司	当前权利人	诺思（天津）微系统有限责任公司
发明人	张浩;庞慰
代理机构	天津市北洋有限责任专利代理事务所	代理人	杜文茹

摘要

一种声波器件及其制作方法，一个或多个串联声波谐振器包括在基底上形成的底部电极、在底部电极上形成的压电层、在压电层上形成的顶部电极以及在顶部电极上形成的钝化层；一个或多个并联声波谐振器包括在基底上形成的底部电极、在底部电极上形成的质量负载层、在质量负载层上形成的压电层、在压电层上形成的顶部电极以及在顶部电极上形成的钝化层；一个或多个的串联声波谐振器和一个或多个的并联声波谐振器以栅格或梯形结构相互耦合。制作方法：提供带有牺牲层的基底；在牺牲层上形成多层结构，多层结构包括底部电极和质量负载层；在多层结构上形成压电层；在压电层上形成顶部电极；移除牺牲层以形成空气腔。本发明使声波器件中的质量负载效应与修正过程几乎无关。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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