首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

涂敷光刻胶的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN86103644
IPC分类号：--
申请日期：
1986-06-11
申请人：
株式会社日立制作所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	涂敷光刻胶的方法
申请号	CN86103644	申请日期	1986-06-11
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	1987-04-29	公开/公告号	CN86103644
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	株式会社日立制作所	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社日立制作所	当前权利人	株式会社日立制作所
发明人	伊藤铁男;田沼正之;込义之;门田和也;小林一成
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利代理部	代理人	李勇

摘要

光刻工艺，包括在衬底上旋涂光刻胶并将掩膜图形转移到光刻胶上而后进行曝光，及在图形被曝光后在衬底上形成该图形。当光刻胶显影图形因涂敷光刻胶工艺中的参数的增加或减少而脉动变化时，将参数的值设置到与脉动的极值相符。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供