压电设备及MEMS设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202011557513.4
IPC分类号：H01L41/09;B06B1/06;B81B7/02;B81C3/00
申请日期：
2020-12-23
申请人：
精工爱普生株式会社

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著录项信息

专利名称	压电设备及MEMS设备
申请号	CN202011557513.4	申请日期	2020-12-23
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-06-29	公开/公告号	CN113054091A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L41/09 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L41/00 一般压电器件；一般电致伸缩器件；一般磁致伸缩器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备；这些器件的零部件（由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件组成的器件入H01L 27/00）〔2〕 H01L41/08 压电器件或电致伸缩器件〔2〕 H01L41/09 带有电输入与机械输出的〔5〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;1;/;0;9;;;B;0;6;B;1;/;0;6;;;B;8;1;B;7;/;0;2;;;B;8;1;C;3;/;0;0查看分类表>
申请人	精工爱普生株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	精工爱普生株式会社	当前权利人	精工爱普生株式会社
发明人	大泽荣治;岩井光
代理机构	北京康信知识产权代理有限责任公司	代理人	李丹

摘要

提供一种压电设备及MEMS设备，能够实现小型化。压电设备具备：第一基板，包括第一面，所述第一面配置有压电元件以及连接于所述压电元件的第一电极的；第二基板，包括第二面，所述第二面配置有连接于控制电路的第二电极；以及第三基板，配置在所述第一基板与所述第二基板之间，所述第三基板包括与所述第一面接合的第三面以及与所述第二面对置的第四面，所述第三基板具备：贯穿孔，从所述第三面贯穿到所述第四面；以及第三电极，设置于所述贯穿孔并连接于所述第一电极，所述第二电极连接于所述第三电极并经由所述第三电极与所述第一电极电连接。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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