一种陶瓷坯体快速排PVB胶的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202211268033.5
IPC分类号：C04B35/638;C04B41/87
申请日期：
2022-10-17
申请人：
江苏富乐华功率半导体研究院有限公司

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著录项信息

专利名称	一种陶瓷坯体快速排PVB胶的方法
申请号	CN202211268033.5	申请日期	2022-10-17
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-11-11	公开/公告号	CN115321993A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C04B35/638 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C04 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕 C04B 石灰；氧化镁；矿渣；水泥；其组合物，例如：砂浆、混凝土或类似的建筑材料；人造石；陶瓷（微晶玻璃陶瓷入C03C 10/00）；耐火材料（难熔金属的合金入C22C）；天然石的处理〔4〕 C04B35/00 以成分为特征的陶瓷成型制品；陶瓷组合物（含有不用作宏观增强剂的，粘接在碳化物、金刚石、氧化物、硼化物、氮化物、硅化物上的游离金属，例如陶瓷或其他金属化合物，例如氧氮化合物或硫化物的入C22C）；准备制造陶瓷制品的无机化合物的加工粉末〔4〕 C04B35/622 形成工艺；准备制造陶瓷产品的无机化合物的加工粉末〔6〕 C04B35/626 分别或作为配合料制备或处理粉末〔6〕 C04B35/63 使用专门用于形成工艺的添加剂〔6〕 C04B35/638 从其中除去〔6〕	IPC分类号	C;0;4;B;3;5;/;6;3;8;;;C;0;4;B;4;1;/;8;7查看分类表>
申请人	江苏富乐华功率半导体研究院有限公司	申请人地址	江苏省盐城市东台市高新区鸿达路88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏富乐华功率半导体研究院有限公司	当前权利人	江苏富乐华功率半导体研究院有限公司
发明人	葛荘;贺贤汉;崔梦德;王斌;丁颖颖
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种陶瓷坯体快速排PVB胶的方法，涉及半导体加工，旨在解决目前排胶工艺不彻底的问题，其技术方案要点是S1）坯体预压；S2）生坯敷粉、堆叠；S3）微波排胶将坯体放入微波排胶炉中，抽真空至‑0.095MPa，以25mA/min的入射功率梯度持续增加烧结功率，使内部贴片电子元件坯料以10℃/min～40℃/min的升温速率升温至400℃，然后在400℃保温4h，进行排胶处理；S4）空气排胶通入预热空气，同时通过短波红外光加热，以5℃/min升温速率，升温至450℃后，以0.4℃/min‑0.6℃/min的升温速率每升温50℃‑60℃保温20min‑60min，升温至600℃；S5）降温排胶将温度从600℃逐步降温至200℃，降温速度为2℃/min。本发明的一种陶瓷坯体快速排PVB胶的方法，排胶彻底且时间短。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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