一种磊晶基板的加工装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201821743684.4
IPC分类号：H01L21/67;H01L21/687
申请日期：
2018-10-26
申请人：
张婷

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种磊晶基板的加工装置
申请号	CN201821743684.4	申请日期	2018-10-26
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人	张婷	申请人地址	浙江省嘉兴市嘉善县惠民街道惠民大道383号3号楼1层101室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安第斯新材料科技（浙江）有限公司	当前权利人	安第斯新材料科技（浙江）有限公司
发明人	张婷
代理机构	厦门智慧呈睿知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	郭福利

摘要

本实用新型公开了一种磊晶基板的加工装置，其结构包括工作台，所述工作台上设置有支撑架、放置板、除尘装置和固定杆，所述支撑架固定连接在所述工作台的上表面，所述放置板固定连接在所述支撑架的内侧，所述除尘装置固定连接在所述工作台底部的右侧，所述固定杆固定连接在所述放置板的右侧，所述支撑架上设置有第一推动器和第二推动器，所述第一推动器固定连接在所述支撑架上端的中间处，所述第二推动器固定连接在所述支撑架上端的右侧。本实用新型增强了基板在切割过程中的稳定性，降低了基板切割过程中损坏的几率，提高了基板切割时长度的精确性，避免了切割下的基板与工作台发生碰撞，提高了基板加工环境的质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供