一种电容式MEMS麦克风结构及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110860300.7
IPC分类号：H04R19/04;H04R31/00
申请日期：
2021-07-28
申请人：
庄红红

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著录项信息

专利名称	一种电容式MEMS麦克风结构及其制造方法
申请号	CN202110860300.7	申请日期	2021-07-28
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2021-11-30	公开/公告号	CN113727265A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H04R19/04 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H04 电通信技术 H04R 扬声器、传声器、唱机拾音器或其他声—机电传感器；助听器；扩音系统（产生的声音和频率与电流频率无关的入G10K）〔6〕 H04R19/00 静电传感器 H04R19/04 传声器（H04R 19/01优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;4;R;1;9;/;0;4;;;H;0;4;R;3;1;/;0;0查看分类表>
申请人	庄红红	申请人地址	广东省深圳市龙岗区南湾街道下李朗社区不澜路17号新光制药厂宿舍楼1栋101 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	庄红红	当前权利人	庄红红
发明人	庄红红
代理机构	上海波拓知识产权代理有限公司	代理人	杨波

摘要

本发明涉及一种电容式MEMS麦克风结构及其制造方法，包括：衬底；振膜，振膜位于衬底上方；背板，背板位于振膜上方，背板包括电极区和非电极区；支架，支架位于衬底和背板之间，用于支撑振膜和背板；气隙，气隙位于振膜、背板以及支架之间；其中，电容式MEMS麦克风结构还包括加强背板的机械强度的加固框，加固框设置于非电极区的背板的表面。本发明的电容式MEMS麦克风结构中设置有加固框，能够提高背板的机械强度，并避免因为局部应力过于集中而产生裂纹损坏，有助于提升电容式MEMS麦克风的性能和可靠性。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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