一种灯丝引出杆绝缘结构

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200620113059.2
IPC分类号：H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265
申请日期：
2006-04-24
申请人：
北京中科信电子装备有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种灯丝引出杆绝缘结构
申请号	CN200620113059.2	申请日期	2006-04-24
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/08 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/08 离子源；离子枪	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;8;;;H;0;1;J;3;7;/;3;1;7;;;H;0;1;L;2;1;/;2;6;5查看分类表>
申请人	北京中科信电子装备有限公司	申请人地址	北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京中科信电子装备有限公司	当前权利人	北京中科信电子装备有限公司
发明人	伍三忠;戴习毛;唐景庭;刘仁杰
代理机构	北京中海智圣知识产权代理有限公司	代理人	曾永珠

摘要

本实用新型涉及一种离子注入机的离子源，特别涉及一种长寿命离子源的灯丝引出杆绝缘结构，属于半导体器件制造领域；针对现有长寿命离子源技术中灯丝引出杆电位高、绝缘体容易受高温离子溅射而污染的问题，提出了一种灯丝引出杆绝缘结构，满足离子源的高可靠性及长使用寿命要求，在一绝缘块3上固定连接有一灯丝引线铜杆1，其间设有密封圈2，在灯丝引线铜杆1四周设有通入冷却水的灯杆水冷套4，结构紧凑稳定可靠，具有抗热变形、抗高温腐蚀性能好特点；结构连接操作方便；绝缘及防污染爬电性能优越，可靠性高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供