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散射X线除去用滤波栅的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510122594.8
  • IPC分类号:G21K3/00
  • 申请日期:
    2015-03-19
  • 申请人:
    株式会社富士金
著录项信息
专利名称散射X线除去用滤波栅的制造方法
申请号CN201510122594.8申请日期2015-03-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-06-17公开/公告号CN104715802A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G21K3/00IPC分类号G;2;1;K;3;/;0;0查看分类表>
申请人株式会社富士金申请人地址
日本大阪府大阪市 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社富士金当前权利人株式会社富士金
发明人胜见雪人;町井芳文;长谷川惠一;长谷川博恒;吉原丰;吉田政人;佐藤秀信
代理机构北京权泰知识产权代理事务所(普通合伙)代理人任永利
摘要
本发明的课题之一在于提供:能够简易且廉价地制造1次X线的透射特性优异的散射X线除去用滤波栅的制造方法。解决手段之一是,在贯通图案成形工序中,通过对树脂基板GS照射同步加速光束,成形形成了以规定间隔配置有多个6角形状单位贯通部H的贯通图案的一次加工基板。接着,在无电解镀敷处理工序中,通过在含有具备X线吸收性的金属(Au)的无电解镀敷溶液中浸渍该一次加工基板,在单位贯通部H之间的连结部分B的表背面及单位贯通部H的内面形成无电解金镀敷层。

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