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制造开关电容式DC-DC转换器的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201610374395.0
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L21/768;H01L23/522
  • 申请日期:
    2016-05-31
  • 申请人:
    爱思开海力士有限公司
著录项信息
专利名称制造开关电容式DC-DC转换器的方法
申请号CN201610374395.0申请日期2016-05-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-06-23公开/公告号CN106887410A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;1;/;7;6;8;;;H;0;1;L;2;3;/;5;2;2查看分类表>
申请人爱思开海力士有限公司申请人地址
韩国京畿道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人爱思开海力士有限公司当前权利人爱思开海力士有限公司
发明人黄在晧
代理机构北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)代理人李少丹;许伟群
摘要
一种制造开关电容式转换器的方法包括:提供具有顶表面和底表面的半导体层;在半导体层的顶表面上形成开关元件;在开关元件上形成第一绝缘层和第一互连图案;在第一绝缘层和第一互连图案之上形成第二绝缘层;在第二绝缘层之上形成第二互连图案;在第二绝缘层和第二互连图案之上形成第三绝缘层;在半导体层的底表面之上形成第三互连图案和下互连图案;在下互连图案之上形成电容器;在半导体层的底表面之上形成第四绝缘层,以暴露电容器的上电极图案;形成覆盖电容器的第五绝缘层;以及在第五绝缘层中形成焊盘。

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