快速升降温退火炉

发明专利有效专利

申请号：
CN201310005931.6
IPC分类号：H01L21/02;H01L21/324
申请日期：
2013-01-08
申请人：
河南诺巴迪材料科技有限公司

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著录项信息

专利名称	快速升降温退火炉
申请号	CN201310005931.6	申请日期	2013-01-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2013-03-27	公开/公告号	CN103000496A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;3;2;4查看分类表>
申请人	河南诺巴迪材料科技有限公司	申请人地址	河南省郑州市新郑市薛店镇新孟公路东侧变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河南诺巴迪材料科技有限公司	当前权利人	河南诺巴迪材料科技有限公司
发明人	宋风宽
代理机构	郑州异开专利事务所（普通合伙）	代理人	王霞

摘要

本发明公开了一种快速升降温退火炉，包括炉体，炉体包括支座以及沿支座上的滑轨左右移动的加热腔体，加热腔体内贴附有聚轻纤维保温内衬并设置有加热器，在加热腔体一侧的支座上固定有工件托架，工件托架的前部延伸设置有工件托放平台。在聚轻纤维保温内衬上涂覆有超高温涂层。加热腔体和工件托架之间的支座上设置有沿支座滑轨左右移动的石英反应腔体；工件托架后部开设有与石英反应腔体内部相连通的进气口和与外部抽真空设备相连通的出气口。本发明的优点在于加热腔体内贴附整体氧化铝聚轻纤维保温内衬，工作时较传统炉体节能70%，升降温速率最快可达≤500℃/S，省却了水冷系统，降低了设备制造成本和生产成本，扩大了设备应用范围。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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