13族元素氮化物结晶的制造方法及装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201580065216.9
IPC分类号：C30B29/38;C30B9/12
申请日期：
2015-10-07
申请人：
日本碍子株式会社

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专利名称	13族元素氮化物结晶的制造方法及装置
申请号	CN201580065216.9	申请日期	2015-10-07
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-08-01	公开/公告号	CN107002285A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/38 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/10 无机化合物或组合物〔3〕 C30B29/38 氮化物〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;3;8;;;C;3;0;B;9;/;1;2查看分类表>
申请人	日本碍子株式会社	申请人地址	日本国爱知县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	日本碍子株式会社	当前权利人	日本碍子株式会社
发明人	吉野隆史;今井克宏;下平孝直;和田敬
代理机构	北京旭知行专利代理事务所（普通合伙）	代理人	王轶;郑雪娜

摘要

结晶培养装置包括：耐压容器、设置于耐压容器的内侧的多个支撑台、分别载置于各支撑台上的内侧容器、分别收纳在各内侧容器中的培养容器、对培养容器进行加热的加热设备、以及连接于多个支撑台的中央旋转轴。中央旋转轴和各反应容器的各中心轴相分离。在培养容器中收纳晶种、13族元素原料及助熔剂，在对培养容器进行加热而生成熔液、同时将含氮气体供给到熔液而使13族元素氮化物结晶生长时，使中央旋转轴进行旋转。

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