基于二氧化硅平面光波导的2×2集成光开关

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920263059.8
IPC分类号：G02B6/35;G02B6/122;G02F1/00;G02F1/01;G02F1/21
申请日期：
2019-03-01
申请人：
苏州科沃微电子有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	基于二氧化硅平面光波导的2×2集成光开关
申请号	CN201920263059.8	申请日期	2019-03-01
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B6/35 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B6/22 （转入G02B 6/036） G02B6/24 光波导的耦合（电波导的耦合入H01P 1/00）〔4，5〕 G02B6/26 光耦合装置（G02B 6/36，G02B 6/42优先）〔4〕 G02B6/35 有切换装置的（一般的光学切换入G02B 26/08；通过改变介质的光学特性的入G02F 1/00）〔6〕	IPC分类号	G;0;2;B;6;/;3;5;;;G;0;2;B;6;/;1;2;2;;;G;0;2;F;1;/;0;0;;;G;0;2;F;1;/;0;1;;;G;0;2;F;1;/;2;1查看分类表>
申请人	苏州科沃微电子有限公司	申请人地址	江苏省苏州市太仓市浏河镇紫薇路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	苏州科沃微电子有限公司	当前权利人	苏州科沃微电子有限公司
发明人	冯吉军;孙晓宇;林圣福
代理机构	上海湾谷知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	李晓星

摘要

本实用新型公开了一种基于二氧化硅平面光波导的2×2集成光开关，包括：硅基衬底；覆盖于所述硅基衬底上的二氧化硅缓冲层；折射率高于所述二氧化硅缓冲层，并镀在所述二氧化硅缓冲层上的二氧化硅芯层；覆盖于所述二氧化硅芯层上的二氧化硅上包层。其中，所述二氧化硅芯层的芯层波导为两个多模干涉仪组成的马赫‑曾德干涉仪，该马赫‑曾德干涉仪的马赫‑曾德干涉臂下埋有用于对波导进行加热以调制相位的金属电极。通过调节附加在金属电极上的电压可实现光信号在波导输出端口的切换。具有结构简单、成本低、高消光比、低偏振相关损耗等优点，在未来高速动态光网中的光路切换节点处具有重要的潜在应用。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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