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一种四氯化锗液位自动控制系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201621279574.8
  • IPC分类号:G05D9/12
  • 申请日期:
    2016-11-24
  • 申请人:
    江苏奥维信亨通光学科技有限公司
著录项信息
专利名称一种四氯化锗液位自动控制系统
申请号CN201621279574.8申请日期2016-11-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G05D9/12IPC分类号G;0;5;D;9;/;1;2查看分类表>
申请人江苏奥维信亨通光学科技有限公司申请人地址
江苏省苏州市吴江经济技术开发区同津大道以西 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏奥维信亨通光学科技有限公司当前权利人江苏奥维信亨通光学科技有限公司
发明人骆金卫
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)代理人汤东凤
摘要
本实用新型公开了一种四氯化锗液位自动控制系统,其包括鼓泡器、收容在鼓泡器内的储存罐、储存四氯化锗的原液罐以及与储存罐管道连通沉积炉,还包括连通所述储存罐与所述原液罐的加注管、检测所述储存罐内液位的红外激光传感器、设置在所述加注管上的电磁阀、控制所述电磁阀导通或阻断的第一PLC控制器以及采集所述沉积炉运行状态的第二PLC控制器,所述第一PLC控制器与所述电磁阀、所述红外激光传感器以及所述第二PLC控制器电信号连接。本实用新型能够消除人为操作失误和操作量不当所引起的损失,同时通过高精度红外传感器实现四氯化锗的精准加注。

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