相对于支撑台定位基片的方法与设备

发明专利无效专利

申请号：
CN200410031211.8
IPC分类号：H01L21/68;H01L21/00
申请日期：
2004-02-20
申请人：
应用材料有限公司

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著录项信息

专利名称	相对于支撑台定位基片的方法与设备
申请号	CN200410031211.8	申请日期	2004-02-20
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-09-22	公开/公告号	CN1531052
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/68 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕 H01L21/68 用于定位、定向或对准的〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	应用材料有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	应用材料有限公司	当前权利人	应用材料有限公司
发明人	S·栗太;R·库斯勒
代理机构	北京纪凯知识产权代理有限公司	代理人	赵蓉民

摘要

一种对准装置，包括：(1)第一推块，其适于接触支撑于支撑台上的基片的边缘，并适于沿第一平移路径横向平移；(2)第二推块，其适于接触所述基片的所述边缘并适于沿第二平移路径横向平移，所述第二平移路径与所述第一平移路径成一定角度并与所述第一平移路径相交；(3)一框架，所述第一和第二推块可移动地连接于其上，所述框架适于将所述第一和第二推块保持在所述基片的所述边缘的高度上；(4)第一偏置元件，其连接到所述第一推块与所述框架之间并适于将所述第一推块压靠在所述基片的所述边缘上；(5)第二偏置元件，其连接到所述第二推块与所述框架之间并适合独立于所述第一推块的偏压作用而将所述第二推块压靠在所述基片的所述边缘上。本发明还提供了其它方式。

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