首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

坩埚和蒸镀装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201280005720.6
  • IPC分类号:C23C14/24H01L51/50H05B33/10
  • 申请日期:
    2012-01-13
  • 申请人:
    夏普株式会社
著录项信息
专利名称坩埚和蒸镀装置
申请号CN201280005720.6申请日期2012-01-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-09-25公开/公告号CN103328681A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C23C14/24;H01L51/50;H05B33/10查看分类表>
申请人夏普株式会社申请人地址
日本*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人夏普株式会社当前权利人夏普株式会社
发明人井上智;川户伸一;园田通
代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司代理人龙淳
摘要
本发明的坩埚(50)具备:对被成膜基板射出蒸镀颗粒的开口部(55a);在与开口部(55a)相对的位置设置,对从开口部(55a)射出的蒸镀颗粒进行反射的焦点部件(54a);和将由焦点部件(54a)反射后的蒸镀颗粒向被成膜基板反射的旋转抛物面(55b)。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供