一种气浮式调节探针台

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023056670.5
IPC分类号：G01R1/067;G01R31/26
申请日期：
2020-12-17
申请人：
广东柏兹电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种气浮式调节探针台
申请号	CN202023056670.5	申请日期	2020-12-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R1/067 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R1/00 包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R 31/00组中的各类仪器或装置的零部件（测量电消耗量的机电装置所特有的结构零部件入G01R 11/02）〔3，8〕 G01R1/02 一般结构零部件 G01R1/06 测量引线；测量探针（G01R 19/145，G01R 19/165优先）〔3〕 G01R1/067 测量探针〔3〕	IPC分类号	G;0;1;R;1;/;0;6;7;;;G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	广东柏兹电子科技有限公司	申请人地址	广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二212室B卡变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广东柏兹电子科技有限公司	当前权利人	广东柏兹电子科技有限公司
发明人	胡呈祥;陈晓锋
代理机构	中山市铭洋专利商标事务所（普通合伙）	代理人	唐飚

摘要

本实用新型公开了一种气浮式调节探针台，包括机台及设置于机台上的显微镜及探针馈电单元，其特征在于：所述机台的操作平台上设有移动载物台以及探针移动控制座，该移动载物台的底部设有气浮轴承，所述移动载物台上设有支撑轴及与支撑轴转动配合的且能够升降的旋转升降结构，所述探针移动控制座上设有安装板、X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构，且所述探针馈电单元设置于安装板上，所述旋转升降结构上设有用于放置测试元件的载物板，所述安装板通过X向调节机构、Y向调节机构及Z向调节机构带动使探针馈电单元的探针与测试元件接触导通。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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