一种湿式机台槽内载具及其工作方式

发明专利有效专利

申请号：
CN201811094429.6
IPC分类号：H01L21/67;H01L21/677
申请日期：
2018-09-19
申请人：
安徽宏实自动化装备有限公司

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著录项信息

专利名称	一种湿式机台槽内载具及其工作方式
申请号	CN201811094429.6	申请日期	2018-09-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2019-01-15	公开/公告号	CN109216244A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7查看分类表>
申请人	安徽宏实自动化装备有限公司	申请人地址	安徽省合肥市包河区延安路2号宏实集团工业园区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽宏实自动化装备有限公司	当前权利人	安徽宏实自动化装备有限公司
发明人	魏杰;罗文滨
代理机构	北京和信华成知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	胡剑辉

摘要

本发明公开了一种湿式机台槽内载具及其工作方式，其结构包括载具架、机台槽、气体通入装置传动机构、密封舱、气体输入管道、气体干燥装置、吸气机、气体过滤装置、载具座、气体通入装置和铁氟龙顶杆，所述载具座设于机台槽内，所述密封舱设于载具座上，所述气体通入装置传动机构设于密封舱内，所述载具架设于载具座上端，所述铁氟龙顶杆固定于载具座上，所述气体通入装置设于载具座上且位于铁氟龙顶杆下侧，所述气体输入管道两端分别连接气体通入装置和吸气机，所述气体过滤装置与气体干燥装置在吸气机与气体通入装置之间的气体输入管道依次安装，本发明增加铁氟龙顶杆和气体通入装置使产品在载具内做顺/逆时针移动，提升制程均匀度与产品良率。

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