一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201822076589.X
IPC分类号：C23F1/08;C23F1/12
申请日期：
2018-12-12
申请人：
福建省顺昌富宝腾达化工有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置
申请号	CN201822076589.X	申请日期	2018-12-12
法律状态	授权	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/08 装置，如照相印刷制版装置	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;0;8;;;C;2;3;F;1;/;1;2查看分类表>
申请人	福建省顺昌富宝腾达化工有限公司	申请人地址	福建省南平市顺昌县大干镇变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	福建省顺昌富宝腾达化工有限公司	当前权利人	福建省顺昌富宝腾达化工有限公司
发明人	陈训海
代理机构	深圳市科吉华烽知识产权事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅装置，包括箱体，所述储液瓶的出液端安装有导流管，所述导流管套接于导气管的内侧，所述导气管和导流管的端侧均安装有挡板，所述挡板的中部均匀等距开设有通孔，所述挡板的侧部安装有滑槽，所述滑槽的内部活接有滑块，所述滑块的上部安装有电动推杆，所述滑块的上部安装有卡块，所述电加热器安装于储液瓶的下部，所述箱体的下部安装有排液管，所述排液管的下部安装有收集箱，所述收集箱的侧部安装有喷嘴，所述收集箱的侧部安装有水泵。本实用新型简便的调节氢氟酸蒸汽喷入后与硅衬板的接触部位，达到有效的刻蚀，同时，有效的实现刻蚀后氢氟酸蒸汽的处理，避免影响环境。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供