基板处理装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201180018300.7
IPC分类号：H05B33/10;B65H23/038;H01L51/50
申请日期：
2011-04-11
申请人：
株式会社尼康

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基板处理装置
申请号	CN201180018300.7	申请日期	2011-04-11
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-12-19	公开/公告号	CN102835189A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05B33/10 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05B 电热；其他类目不包含的电照明 H05B33/00 电致发光光源〔1，8〕 H05B33/10 专门适用于制造电致发光光源的设备或方法	IPC分类号	H;0;5;B;3;3;/;1;0;;;B;6;5;H;2;3;/;0;3;8;;;H;0;1;L;5;1;/;5;0查看分类表>
申请人	株式会社尼康	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社尼康	当前权利人	株式会社尼康
发明人	浜田智秀;奈良圭;增川孝志;木内彻
代理机构	中国国际贸易促进委员会专利商标事务所	代理人	史雁鸣

摘要

基板处理装置，具备：基板供应部，在使形成为带状的基板的短边方向竖立的状态下供应基板；基板处理部，具有搬送部及多个处理部，该搬送部，将从该基板供应部供应的基板在竖立状态下搬送，该多个处理部，是沿着该搬送部的基板的搬送路径配置，对竖立状态的基板的被处理面进行处理；以及基板回收部，将在该基板处理部进行处理后的基板在竖立状态下回收。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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