用于与芯片集成的微泵的批量化制作方法和制作设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202010635318.2
IPC分类号：F04B43/06;F04B53/10;F04B53/22
申请日期：
2020-07-03
申请人：
清华大学深圳国际研究生院

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于与芯片集成的微泵的批量化制作方法和制作设备
申请号	CN202010635318.2	申请日期	2020-07-03
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-23	公开/公告号	CN111810387A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F04B43/06 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F0 发动机或泵 F04 液体变容式机械；液体泵或弹性流体泵 F04B 液体变容式机械；泵（发动机燃料喷射泵入F02M；旋转活塞式或摆动活塞式液体机械或泵入F04C；非变容式泵入F04D；通过其他流体直接接触或利用被泵送流体的惯性的流体泵送入F04F；曲轴、十字头、连杆入F16C；飞轮入F16F；旋转运动和往复运动互相转换的一般传动装置入F16H；通用活塞、活塞杆、工作缸入F16J；离子泵入H01J 41/12；电动泵入H02K 44/02） F04B43/00 具有柔性工作元件的机械、泵，或泵送装置（专门适应于弹性流体的泵或泵送装置入F04B 45/00） F04B43/02 具有板状柔性件，例如隔膜（F04B 43/14优先）〔3〕 F04B43/06 具有流体驱动的泵	IPC分类号	F;0;4;B;4;3;/;0;6;;;F;0;4;B;5;3;/;1;0;;;F;0;4;B;5;3;/;2;2查看分类表>
申请人	清华大学深圳国际研究生院	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋二楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	清华大学深圳国际研究生院	当前权利人	清华大学深圳国际研究生院
发明人	弥胜利;杜志昌
代理机构	深圳新创友知识产权代理有限公司	代理人	王震宇

摘要

本发明提供一种用于与芯片集成的微泵的批量化制作方法和制作设备，实现芯片集成微泵的一体化制作、大批量加工，一次制作出阵列分布的多个微泵单元，每个微泵单元包含两个单向阀、一个微泵腔室、一个膜结构以及一个微泵驱动腔室；剪裁下来的单个微泵单元可以以相对简单的方式集成在流道中，用于流体驱动。本发明能够实现有阀微泵的一体化浇筑，实现微泵大批量、标准化加工，简化微泵在微流控芯片上的集成难度，满足高通量流体驱动的需求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供