半导体工艺执行方法和半导体工艺设备

发明专利有效专利

申请号：
CN202010579171.X
IPC分类号：G06F21/79;G06F9/448;H01L21/67
申请日期：
2020-06-23
申请人：
北京北方华创微电子装备有限公司

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著录项信息

专利名称	半导体工艺执行方法和半导体工艺设备
申请号	CN202010579171.X	申请日期	2020-06-23
法律状态	实质审查	申报国家	暂无
公开/公告日	2020-10-16	公开/公告号	CN111783172A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F21/79 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06F 电数字数据处理（基于特定计算模型的计算机系统入G06N） G06F21/24 （转入G06F 21/60） G06F21/70 保护特定的内部或外部计算机组件，即保护一个组件从而保护整个计算机〔2013.01〕 G06F21/78 确保数据存储的安全（基于地址的保护，防止未经授权使用内存入G06F 12/14；连同机器一起使用的记录载体，并且至少其中一部分设计携带数字标记入G06K 19/00）〔2013.01〕 G06F21/79 在半导体存储介质中，例如直接寻址存储器〔2013.01〕	IPC分类号	G;0;6;F;2;1;/;7;9;;;G;0;6;F;9;/;4;4;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	北京北方华创微电子装备有限公司	申请人地址	北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创微电子装备有限公司	当前权利人	北京北方华创微电子装备有限公司
发明人	靳双豪
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	彭瑞欣;姜春咸

摘要

本发明提供一种半导体工艺执行方法，应用于半导体工艺设备中，其特征在于，包括：接收当前工艺对应的工艺配方并存储在本地；接收所述当前工艺的工艺信息，创建工艺任务，其中，所述工艺信息包括所述工艺配方的名称；将所述工艺配方及所述工艺信息存储至内存中；删除本地存储的所述工艺配方；基于所述工艺信息调用所述工艺配方，执行所述工艺任务。在本发明中，上位控制装置在接收到工艺配方后，直接将该工艺配方从本地转移至内存中，并删除本地存储的工艺配方，操作人员无法通过上位控制装置的操作系统读取或更改存储在内存中的工艺配方，进而提高了工艺配方的保密性和半导体生产工艺的安全性。本发明还提供一种半导体工艺设备。

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