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有机材料的蒸发器及蒸发有机材料的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200980138390.6
  • IPC分类号:C23C14/24
  • 申请日期:
    2009-09-29
  • 申请人:
    应用材料股份有限公司
著录项信息
专利名称有机材料的蒸发器及蒸发有机材料的方法
申请号CN200980138390.6申请日期2009-09-29
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-08-24公开/公告号CN102165090A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/24IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;4查看分类表>
申请人应用材料股份有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司当前权利人应用材料公司
发明人S·海恩;G·霍夫曼;P·斯库克
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人陆勍
摘要
本发明描述一种用于汽化欲沉积于一挠性基板上的有机材料的蒸发器。所述蒸发器包括:一蒸发管,具有一壁,所述壁包围用于汽化所述有机材料的一空腔;至少一个加热装置,邻近于所述壁配置且经调适以加热所述蒸发管;至少一个自所述蒸发管突出的喷嘴组件,其中所述喷嘴组件进一步包含具有一开口的一喷嘴盖;及一挡门,所述挡门用于选择性开启及关闭所述喷嘴盖的所述开口,其中所述挡门被调适成在操作所述蒸发管时具有在140℃的挡门温度范围内的温度,以使得所述喷嘴盖的温度在所述挡门温度范围内。

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