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折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920299353.4
  • IPC分类号:G01M11/00
  • 申请日期:
    2019-03-11
  • 申请人:
    中国科学院上海技术物理研究所
著录项信息
专利名称折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统
申请号CN201920299353.4申请日期2019-03-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M11/00IPC分类号G;0;1;M;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院上海技术物理研究所申请人地址
上海市虹口区玉田路500号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院上海技术物理研究所当前权利人中国科学院上海技术物理研究所
发明人胡文琦;戚丽丽;郑列华;张珑
代理机构上海沪慧律师事务所代理人郭英
摘要
本专利公开了一种折反透镜组检验超大口径凸抛物面反射镜的光学系统。检验光学系统主要由干涉仪、折反透镜组、亨德尔球面反射镜及待检凸抛物面反射镜组成。折反透镜组由一个单透镜和一个折反透镜组成。首先利用折反透镜校正球面反射镜产生的球差,再利用单透镜形成自准检验光路同时提高球差校正效果。该光学系统可以实现超大口径凸抛物面反射镜的高精度检验。本专利可以在保证系统检验高精度的同时,减小所需球面反射镜以及折反透镜组的口径,缩短检测光路的长度,降低了加工以及检测过程中装调的难度,节约了成本。

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