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具有状态监控的销举升装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980083018.3
  • IPC分类号:H01L21/687
  • 申请日期:
    2019-12-13
  • 申请人:
    VAT控股公司
著录项信息
专利名称具有状态监控的销举升装置
申请号CN201980083018.3申请日期2019-12-13
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-06公开/公告号CN113228247A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人VAT控股公司申请人地址
瑞士哈格 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人VAT控股公司当前权利人VAT控股公司
发明人A·施恩莫塞尔;M·杜尔;A·霍弗
代理机构北京三友知识产权代理有限公司代理人王小东;黄纶伟
摘要
一种销举升装置(10)且特别是销举升器,其被设计用于在可由真空处理室提供的处理气氛区域内移动和定位待处理基片特别是晶圆。销举升装置(10)包括被设计成接收适于接触并支承该基片的支承销的接头(32)以及驱动单元(12),其被设计且与接头(32)相互作用,使得接头(32)可以沿调节轴线(A)从降低的正常位置线性调节到伸出的支承位置和返回调节。销举升装置(10)具有至少一个传感器单元(41‑44),其被设计和布置成可以与销举升装置(10)的至少一部分相关地借助传感器单元(41)产生与力有关和/或与加速度有关的状态信息。

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