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衬底处理装置以及衬底的生产方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410459438.6
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/02
  • 申请日期:
    2014-09-10
  • 申请人:
    株式会社日立国际电气
著录项信息
专利名称衬底处理装置以及衬底的生产方法
申请号CN201410459438.6申请日期2014-09-10
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2016-02-10公开/公告号CN105321847A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;0;2查看分类表>
申请人株式会社日立国际电气申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社国际电气当前权利人株式会社国际电气
发明人田边光朗;柳泽爱彦;汤浅和宏;境正宪;坪田康寿
代理机构北京市金杜律师事务所代理人杨宏军
摘要
本发明涉及衬底处理装置以及衬底的生产方法,解决了如下问题:衬底载置部外周的热由构成气体分散通道的壁吸收,结果,难以使衬底面内的温度均匀。具有:腔室盖部,具有第一加热机构;衬底载置部,靠近该腔室盖部,并具有用于加热衬底的第二加热机构;处理容器,至少由所述腔室盖部和所述衬底载置部构成;控制部,在所述第二加热机构加热所述衬底载置部时,控制所述第一加热机构从而抑制来自所述第二加热机构的热能从所述衬底载置部向所述腔室盖部热传递。

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