一种托盘装卡装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202123274328.7
IPC分类号：C23C16/458;C23C16/50;C23C16/24;H01L21/673
申请日期：
2021-12-24
申请人：
南通玖方新材料科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种托盘装卡装置
申请号	CN202123274328.7	申请日期	2021-12-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/458 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/44 以镀覆方法为特征的（C23C 16/04优先）〔4〕 C23C16/458 在反应室中支承基体的方法〔7〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;4;5;8;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0;;;C;2;3;C;1;6;/;2;4;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;3查看分类表>
申请人	南通玖方新材料科技有限公司	申请人地址	江苏省南通市高新区碧华路1199号东久（南通）智造园A5 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	南通玖方新材料科技有限公司	当前权利人	南通玖方新材料科技有限公司
发明人	高晗;吴明贵;刘小明;张清清;龚汉亮
代理机构	南通市永通专利事务所（普通合伙）	代理人	暂无

摘要

本实用新型公开了一种托盘装卡装置，横梁包括位于外框两侧的边横梁、位于外框中间部位的中间横梁；竖梁包括竖梁导轨条及与竖梁导轨条固定连接的竖梁卡槽，竖梁卡槽通过法兰与横梁连接；所述边横梁由主横梁和副横梁组成；拉筋通过副横梁上面的加工孔、中间横梁上面的加工孔由螺母固定在副横梁上；托盘卡装在竖梁、边横梁及中间横梁上；竖梁上面加工矩形槽，用来装夹托盘；横梁上面也加工矩形槽用来装夹托盘；矩形槽和托盘装配之后会留有一定的空隙。本实用新型有效提高硅片承载装置的平面度，改善镀膜效果，装夹方便。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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