马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201420033601.8
IPC分类号：G01N21/45
申请日期：
2014-01-20
申请人：
浙江大学

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专利名称	马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器
申请号	CN201420033601.8	申请日期	2014-01-20
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/45 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/17 入射光根据所测试的材料性质而改变的系统（其中所测试的材料因受到光学激发而引起入射光波长改变的入G01N 21/63）〔3〕 G01N21/41 折射率；影响相位的性质，例如光程长度（G01N 21/21优先）〔3〕 G01N21/45 利用干涉量度法，利用纹影方法〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;4;5查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区浙大路38号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	时尧成;刘鹏浩
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	杜军

摘要

本实用新型公开了一种马赫-曾德干涉仪与微腔级联的强度探测型传感器。本实用新型包括宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫-曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器；且宽带光源、输入光波导、微腔传感单元、连接光波导、马赫-曾德干涉仪型滤波器、输出光波导、光探测器自左向右依次耦合连接。光探测器为集成式MSM型硅基光电探测器，用于测量最终输出光强；宽带光源为外接的发光二极管所有输入光波导均为单模传输平面集成光波导；微腔传感单元为二维光子晶体微腔或一维光子晶体纳米梁微腔。本实用新型以强度探测取代频谱探测，避免使用光谱仪，结合平面光波导的集成化优势及微纳光腔的高灵敏度特性，实现光传感功能。

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