用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200720065043.3
IPC分类号：C30B29/06;C30B28/06
申请日期：
2007-11-12
申请人：
中国电子科技集团公司第四十八研究所

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专利名称	用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器
申请号	CN200720065043.3	申请日期	2007-11-12
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;2;8;/;0;6查看分类表>
申请人	中国电子科技集团公司第四十八研究所	申请人地址	湖南省长沙市天心区新开铺路1025号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子科技集团公司第四十八研究所	当前权利人	中国电子科技集团公司第四十八研究所
发明人	程远贵;陈国红;王滋渊
代理机构	长沙正奇专利事务所有限责任公司	代理人	马强

摘要

一种用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器，有四块辐射式加热板，每块辐射式加热板由3a(a＝1，2，3)个“n”形块于底部邻接组成，四块辐射式加热板立置并围成一个正方形，其四个角下部用角接器将相邻两块加热板连接起来且采用碳碳复合螺栓、螺母紧固；将围成所述正方形的四块辐射式加热板的共12a个“n”形块平均分成六组，于每组“n”形块的顶部安装一个直立的石墨电极且所装石墨电极在围成正方形的四块辐射式加热板上均匀分布，每个石墨电极上部分别接有水冷铜电极，将各水冷铜电极按双三角形接线方式连接。该加热器能满足辐射面积大、加热效率高、基本性能稳定等要求并获得所需高温，工作可靠性好。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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