加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

半导体结构的制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910250155.3
  • IPC分类号:H01L21/8242;H01L27/108
  • 申请日期:
    2019-03-29
  • 申请人:
    长鑫存储技术有限公司
著录项信息
专利名称半导体结构的制作方法
申请号CN201910250155.3申请日期2019-03-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-10-09公开/公告号CN111755386A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8242
?
IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;4;2;;;H;0;1;L;2;7;/;1;0;8查看分类表>
申请人长鑫存储技术有限公司申请人地址
安徽省合肥市经济技术开发区翠微路6号海恒大厦630室 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长鑫存储技术有限公司当前权利人长鑫存储技术有限公司
发明人朱一明;平尔萱
代理机构北京律智知识产权代理有限公司代理人袁礼君;阚梓瑄
摘要
本发明提出一种半导体结构的制作方法,涉及半导体生产技术领域,该方法包括:形成第一晶圆,第一晶圆包括电容区域,电容区域形成于第一晶圆的第一表面;对与第一晶圆的第一表面相对的第二表面进行减薄;形成第二晶圆,第二晶圆包括阵列区域,阵列区域形成于第二晶圆的第三表面;将第一晶圆和第二晶圆键合形成堆叠晶圆结构,其中第一晶圆的第二表面朝向第二晶圆的第三表面,阵列区域和电容区域对应;在堆叠晶圆结构上形成第一导电互连结构,以形成半导体结构。本发明提供的实施例通过将第一晶圆和第二晶圆键合,得到一种堆叠晶圆结构的半导体结构,可以提高半导体结构在晶圆上的密度和生产速度。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供