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等离子反应内室的侧部气体喷射器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010284827.1
  • IPC分类号:H01L21/02;H01J37/32
  • 申请日期:
    2010-09-09
  • 申请人:
    显示器生产服务株式会社
著录项信息
专利名称等离子反应内室的侧部气体喷射器
申请号CN201010284827.1申请日期2010-09-09
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-04-27公开/公告号CN102034666A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/02IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人显示器生产服务株式会社申请人地址
韩国京畿道水原市灵通区灵通洞958-1番地梦帕大厦4层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人显示器生产服务株式会社当前权利人显示器生产服务株式会社
发明人金珉植;高诚庸;蔡焕国;朴根周;金起铉;李元默
代理机构广州弘邦专利商标事务所有限公司代理人张钇斌
摘要
本发明涉及一种等离子反应内室的侧部气体喷射器。该侧部气体喷射器一块圆形均匀板和一块盖板。所述的圆形均匀板包括一个注入反应气体的喷射孔和一个分布反应气体的均匀通道部件,该均匀通道部件使从喷射孔进入的反应气体呈辐射状同时注入到均匀板的内圆周表面上多个位置处。所述的盖板与均匀板顶部相连,密封了均匀通道部件的顶部。

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