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等离子反应内室的侧部气体喷射器

发明专利有效专利

申请号：
CN201010284827.1
IPC分类号：H01L21/02;H01J37/32
申请日期：
2010-09-09
申请人：
显示器生产服务株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	等离子反应内室的侧部气体喷射器
申请号	CN201010284827.1	申请日期	2010-09-09
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-04-27	公开/公告号	CN102034666A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/02 半导体器件或其部件的制造或处理〔2，8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;0;2;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	显示器生产服务株式会社	申请人地址	韩国京畿道水原市灵通区灵通洞958-1番地梦帕大厦4层变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	显示器生产服务株式会社	当前权利人	显示器生产服务株式会社
发明人	金珉植;高诚庸;蔡焕国;朴根周;金起铉;李元默
代理机构	广州弘邦专利商标事务所有限公司	代理人	张钇斌

摘要

本发明涉及一种等离子反应内室的侧部气体喷射器。该侧部气体喷射器一块圆形均匀板和一块盖板。所述的圆形均匀板包括一个注入反应气体的喷射孔和一个分布反应气体的均匀通道部件，该均匀通道部件使从喷射孔进入的反应气体呈辐射状同时注入到均匀板的内圆周表面上多个位置处。所述的盖板与均匀板顶部相连，密封了均匀通道部件的顶部。

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