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具有多个晶体管的半导体装置及其制造方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200510109058.0
  • IPC分类号:H01L21/8238;H01L27/092
  • 申请日期:
    2005-10-17
  • 申请人:
    财团法人工业技术研究院
著录项信息
专利名称具有多个晶体管的半导体装置及其制造方法
申请号CN200510109058.0申请日期2005-10-17
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2007-04-25公开/公告号CN1953160
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8;;;H;0;1;L;2;7;/;0;9;2查看分类表>
申请人财团法人工业技术研究院申请人地址
中国台湾新竹县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人财团法人工业技术研究院当前权利人财团法人工业技术研究院
发明人裴静伟;贡振邦
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人梁挥;祁建国
摘要
本发明涉及一种具有多个晶体管的半导体装置及其制造方法,包括有下列步骤:提供一基板;形成一第一导电层于该基板上,其中该第一导电层包括有:一第一电极区;以及至少一第二电极区;其中该第一电极区电性连接该第二电极区中之一;形成一第一半导体层以覆盖该第二电极区;形成一介电层以覆盖该第一电极区和该第一半导体层;形成一第二半导体层于对应该第一电极区的该介电层上;以及形成一第二导电层,其中该第二导电层包括有:一第三电极区,对应该第二电极区而位于该介电层上;以及至少一第四电极区,对应该第一电极区而位于该第二半导体层上。本发明可大幅度降低引线孔的需求量,进而减少电子元件制造过程中的激光钻孔量,从而降低了生产成本。

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