位置检测方法和装置、存储介质、光刻装置和制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201710767002.7
IPC分类号：G03F7/20;G03F9/00;G06T7/00;G06T7/73
申请日期：
2017-08-31
申请人：
佳能株式会社

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著录项信息

专利名称	位置检测方法和装置、存储介质、光刻装置和制造方法
申请号	CN201710767002.7	申请日期	2017-08-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2018-03-13	公开/公告号	CN107797389A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/20 曝光及其设备（复制用照相印制设备入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;2;0;;;G;0;3;F;9;/;0;0;;;G;0;6;T;7;/;0;0;;;G;0;6;T;7;/;7;3查看分类表>
申请人	佳能株式会社	申请人地址	日本东京变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	佳能株式会社	当前权利人	佳能株式会社
发明人	宫崎忠喜
代理机构	中国贸促会专利商标事务所有限公司	代理人	暂无

摘要

本发明涉及位置检测方法和装置、存储介质、光刻装置和制造方法。一种方法通过利用具有第1到第N特征点的模板检测图像中的目标的位置。所述方法包括在依次将第1到第n(n≤N)个特征点设定为关注特征点的同时，对于模板关于图像的各相对位置通过重复处理获得指示模板与图像之间的相关性的指标。当关注特征点是第J特征点时，确定基于第1到第J特征点的处理获得的指示相关性的中间指标是否满足截止条件，并且，如果中间指标满足截止条件，则取消第(J+1)及随后的特征点的处理。

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