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用于基于氮化镓或其它氮化物的半导体装置的背侧应力补偿

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201080042886.6
  • IPC分类号:H01L21/20
  • 申请日期:
    2010-11-30
  • 申请人:
    国家半导体公司
著录项信息
专利名称用于基于氮化镓或其它氮化物的半导体装置的背侧应力补偿
申请号CN201080042886.6申请日期2010-11-30
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-07-04公开/公告号CN102549716A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/20IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;0查看分类表>
申请人国家半导体公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人国家半导体公司当前权利人国家半导体公司
发明人贾迈勒·拉姆达斯
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人沈锦华
摘要
本发明揭示一种方法,其包含在半导体衬底(102)的第一侧上形成(302)应力补偿层(104)及在所述衬底的第二侧上形成(304)III族氮化物层(108a、108b、110、112)。所述III族氮化物层在所述衬底上产生的应力通过所述应力补偿层在所述衬底上产生的应力而至少部分地减小(306)。形成所述应力补偿层可包含从非晶或微晶材料形成应力补偿层。并且,所述方法可包含在随后在所述衬底的所述第二侧上形成一个或一个以上层(106到114)期间使所述非晶或微晶材料结晶。使所述非晶或微晶材料结晶可发生于随后形成所述III族氮化物层期间及/或退火工艺期间。所述非晶或微晶材料可在所述衬底上不产生应力或产生较小量的应力,且所述经结晶的材料可在所述衬底上产生较大量的应力。

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