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一种硅中硼杂质的去除方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200910094519.X
  • IPC分类号:C01B33/037
  • 申请日期:
    2009-05-26
  • 申请人:
    昆明理工大学
著录项信息
专利名称一种硅中硼杂质的去除方法
申请号CN200910094519.X申请日期2009-05-26
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2009-10-28公开/公告号CN101565186
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C01B33/037IPC分类号C;0;1;B;3;3;/;0;3;7查看分类表>
申请人昆明理工大学申请人地址
云南省昆明市五华区学府路253号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人昆明理工大学当前权利人昆明理工大学
发明人马文会;伍继君;王烨;杨斌;谢克强;刘大春;周阳;魏奎先;秦博;梅向阳;汪镜福;戴永年
代理机构昆明慧翔专利事务所代理人周一康
摘要
一种硅中硼杂质的去除方法。用工业硅以及含硼的废料为原料,按硅与添加剂的重量比=80∶1~2∶1的比例在硅粉中加入硫化物(CuS)、氯化物(CrCl3、FeCl3)、氟化物(VF3)变价化合物中的任意选择一种,经研磨成型后将混合物在氩气氛保护下,温度为600℃~1600℃条件下反应0.5~8h,使加入的化合物与硅中杂质硼反应生成气态化合物硫化硼,氯化硼或氟化硼挥发去除,随炉冷却。工业硅和含硼硅废料中B的含量降低到<5×10-5wt%,即0.5ppmw,达到太阳能级多晶硅对硼杂质的要求。

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