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一种高速平面度检测仪

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201320876074.2
  • IPC分类号:G01B11/30
  • 申请日期:
    2013-12-26
  • 申请人:
    东莞市兆丰精密仪器有限公司
著录项信息
专利名称一种高速平面度检测仪
申请号CN201320876074.2申请日期2013-12-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01B11/30IPC分类号G;0;1;B;1;1;/;3;0查看分类表>
申请人东莞市兆丰精密仪器有限公司申请人地址
广东省东莞市东城樟村石柱路68号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人东莞市兆丰精密仪器有限公司当前权利人东莞市兆丰精密仪器有限公司
发明人黄宏臻
代理机构北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)代理人汤东凤
摘要
本实用新型公开了一种高速平面度检测仪,所述底座1上安装有Y向工作台,Y向工作台上安装有X向工作台,X向工作台上安装有Z向工作台;所述Y向工作台安装在底座上,它由两侧立柱,中间横梁组成,通过3组高精密滑轨滑块组安装在底座上;所述X向工作台安装在Y向工作台的横梁上;所述Z向工作台主板上装有CCD激光位移传感器固定块,上面固定有CCD激光位移传感器;所述底座工作台上设有定位板。本实用新型结构稳定,自动化程度高,操作简单,功能强大,精度高,性价比优,适用范围广泛。

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