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一种避免错位的IGBT芯片自动键合装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN202020918500.4
  • IPC分类号:H01L21/67;H01L21/60
  • 申请日期:
    2020-05-26
  • 申请人:
    江西全道半导体科技有限公司
著录项信息
专利名称一种避免错位的IGBT芯片自动键合装置
申请号CN202020918500.4申请日期2020-05-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;0查看分类表>
申请人江西全道半导体科技有限公司申请人地址
江西省抚州市崇仁县高新技术园区产业大道9号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江西全道半导体科技有限公司当前权利人江西全道半导体科技有限公司
发明人许桂林
代理机构北京恒泰铭睿知识产权代理有限公司代理人何平
摘要
本实用新型涉及IGBT芯片技术领域,且公开了一种避免错位的IGBT芯片自动键合装置,包括底座,所述底座的上侧固定安装有两个支撑柱,两个所述支撑柱相对的一侧均固定安装有固定杆,两个所述固定杆相对的一侧固定安装有滑动机构,所述滑动机构的下侧安装有连接杆,所述连接杆的下端固定安装有材料箱,所述材料箱的下侧固定安装有第一升缩杆。该避免错位的IGBT芯片自动键合装置,当滑块通过连接杆带动键合机构移动时,第二升缩杆移动时发生晃动,第二升缩杆撞击到缓冲机构上,缓冲机构缓解掉部分晃动力,另一部分通过缓冲机构传递到弹簧机构上,通过弹簧机构将其余的晃动力缓解掉,从而实现减小设备晃动频率的效果,使芯片键合更加稳定。

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