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降低氮化物只读存储器的编程干扰的方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN200710044974.X
  • IPC分类号:G11C16/10
  • 申请日期:
    2007-08-17
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称降低氮化物只读存储器的编程干扰的方法
申请号CN200710044974.X申请日期2007-08-17
法律状态权利终止申报国家暂无
公开/公告日2009-02-18公开/公告号CN101369455
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G11C16/10IPC分类号G;1;1;C;1;6;/;1;0查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人陈德艳;缪威权;陈良成;刘鉴常
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人陈亮
摘要
本发明公开一种降低氮化物只读存储器的编程干扰的方法,用以降低氮化物只读存储器编程中的位线干扰,该氮化物只读存储器具有一存储单元阵列,该阵列中的存储单元的栅极连接多条字线,该阵列中的存储单元的源极或漏极连接多条位线,其特征在于,该方法包括以下步骤:对选中的存储单元编程;与此同时,对该氮化物只读存储器施加一特定的基体偏压,使该基体偏压施加至与选中的存储单元同一位线的未选中存储单元。通过选取适当的基体偏压,可使BL干扰降低到可容忍的程度,且不影响存储器的编程效能。

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