一种旋转靶材节缝清理装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922028574.0
IPC分类号：C23C14/34
申请日期：
2019-11-21
申请人：
广西晶联光电材料有限责任公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种旋转靶材节缝清理装置
申请号	CN201922028574.0	申请日期	2019-11-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/34 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	广西晶联光电材料有限责任公司	申请人地址	广西壮族自治区柳州市柳东新区水湾路2号柳东标准厂房2号配套办公楼222号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	广西晶联光电材料有限责任公司	当前权利人	广西晶联光电材料有限责任公司
发明人	陈标;刘所心;马超宁;段宇龙
代理机构	柳州市荣久专利商标事务所（普通合伙）	代理人	韦微

摘要

本实用新型涉及一种旋转靶材节缝清理装置，包括丝杆支架、丝杆、螺母、伸缩刀组件、丝杆驱动电机、支撑管、管支架、管驱动电机和驱动轮，所述丝杆的两端通过轴承分别安装在丝杆支架上，螺母安装在丝杆上并与丝杆通过螺纹连接，伸缩刀组件连接在螺母的底部，所述支撑管的两端分别通过滚珠安装在管支架上，所述驱动轮安装在管驱动电机的输出轴上，驱动轮与支撑管的一端摩擦连接，所述支撑管位于伸缩刀组件下方。本实用新型能够有效清理旋转靶材节缝内的杂物，与现有人工清理的方式相比，既保证了的品质量，又降低了工人劳动强度，提高生产效率，解决了现有旋转靶材节缝难以清理的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供