加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种生产工艺流程建模系统及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510443064.3
  • IPC分类号:G05B19/418
  • 申请日期:
    2015-07-24
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
著录项信息
专利名称一种生产工艺流程建模系统及方法
申请号CN201510443064.3申请日期2015-07-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-02-01公开/公告号CN106371408A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G05B19/418IPC分类号G;0;5;B;1;9;/;4;1;8查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
发明人杨志超
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)代理人余明伟
摘要
本发明提供一种生产工艺流程建模系统及方法,包括:包括生产工艺流程信息的流程控制模块;建立设定产品走不同路径的条件的流程多路径设定模块、实现单步制程备份的机台运行环境程序设定模块、实现整段制程备份的产品转移模块及设定队列时间的队列时间设定模块;基于所述机台运行环境程序设定模块实现单步制程备份、基于所述产品转移模块实现整段制程备份或基于所述队列时间设定模块对队列时间进行设定。本发明统一配置和管理流程的所有信息,满足生产控制需求;避免了没有相关信息对生产造成的危险;节省了人为控制产品所花的时间;扩展灵活,部署方便;数据系统化,便于快速查阅和整理流程信息。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供