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一种旋转式基板加工处理系统

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201621037390.0
  • IPC分类号:H01L21/687
  • 申请日期:
    2016-09-05
  • 申请人:
    奇勗科技股份有限公司;王义正
著录项信息
专利名称一种旋转式基板加工处理系统
申请号CN201621037390.0申请日期2016-09-05
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/687IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人奇勗科技股份有限公司;王义正申请人地址
中国台湾新竹市东山里东山街60巷10号1楼 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人奇勗科技股份有限公司,王义正当前权利人奇勗科技股份有限公司,王义正
发明人王义正
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人王玉双;鲍俊萍
摘要
一种旋转式基板加工处理系统,包含一辅助基板、一基板承载单元、一驱动单元、一加工处理单元、一气体供应单元及一液体供应单元,该辅助基板具有一外环区域及一受该外环区域围绕的中空区域,该中空区域为一非圆形且供一非圆形基板固定,该基板承载单元包括一定义出一处理腔室的环形承载元件,包括一朝该处理腔室延伸且供该辅助基板的该外环区域靠置的凸缘以及一朝该辅助基板的一厚度方向延伸的挡墙,该驱动单元与该处理腔室连接,该加工处理单元设置于该处理腔室内,该气体供应单元和该液体供应单元分别提供一气体和一化学药剂至该处理腔室。

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