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*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

半导体装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920220040.5
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2019-02-21
  • 申请人:
    德淮半导体有限公司
著录项信息
专利名称半导体装置
申请号CN201920220040.5申请日期2019-02-21
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人德淮半导体有限公司申请人地址
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人德淮半导体有限公司当前权利人德淮半导体有限公司
发明人薛荣华;阚保国;刘家桦;叶日铨
代理机构上海光华专利事务所(普通合伙)代理人余明伟
摘要
本实用新型提供了一种半导体装置,包括:与外部环境隔离的隔间;过滤外部空气并向所述隔间内输送洁净空气的过滤单元,设置于所述隔间上;连通所述隔间和外部环境的可开启或关闭的排风口,设置于所述隔间上;连接所述过滤单元和所述排风口的联动模块,所述排风口在所述过滤单元运行时开启,在所述过滤单元停止运行时关闭。本实用新型通过引入可开启或关闭的格栅式的排风口和控制所述排风口开关的联动模块,在过滤单元停止运行时关闭所述排风口,从而防止了外部环境中未过滤空气的倒灌,避免了颗粒物污染,减少了因颗粒物污染导致的产品良率下降及晶圆报废。

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