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万向架组件测试系统及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201710063508.X
  • IPC分类号:G01M13/00
  • 申请日期:
    2017-02-03
  • 申请人:
    格罗方德半导体公司
著录项信息
专利名称万向架组件测试系统及方法
申请号CN201710063508.X申请日期2017-02-03
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2017-08-18公开/公告号CN107063655A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01M13/00IPC分类号G;0;1;M;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人格罗方德半导体公司申请人地址
英属开曼群岛大开曼岛 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人格罗方德半导体公司当前权利人格罗方德半导体公司
发明人D·L·加德尔;D·M·奥德特;P·W·内夫
代理机构北京戈程知识产权代理有限公司代理人程伟;王锦阳
摘要
本发明涉及一种万向架组件测试系统及方法,其态样提供一种万向架组件测试系统,包括:保护罩,附着至装设于万向架轴承内的晶圆探针卡的测试表面,其中,该保护罩包括自该晶圆探针卡的该测试表面向外取向的外表面;以及凹槽,延伸进入该保护罩的该外表面中并经成形以在其中匹配地接合负载单元端部。

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