用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及设计方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510792305.5
IPC分类号：G01B11/24
申请日期：
2015-11-17
申请人：
北京理工大学

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专利名称	用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及设计方法
申请号	CN201510792305.5	申请日期	2015-11-17
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2016-04-06	公开/公告号	CN105466351A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/24 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/24 用于计量轮廓或曲率	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;2;4查看分类表>
申请人	北京理工大学	申请人地址	北京市海淀区中关村南大街5号北京理工大学变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京理工大学	当前权利人	北京理工大学
发明人	郝群;王靖娴;朱秋东;胡摇
代理机构	北京理工正阳知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	唐华

摘要

本发明涉及一种用于检测凸非球面面形误差的折反式部分补偿器及其设计方法，属于非球面检测技术领域。该补偿器包括，一个用于部分地补偿被测凸非球面的三级像差的折射式透镜和一个中心开口的球面反射镜，球面反射镜顶点位置近似位于折射式透镜的像方焦平面上，并与折射式透镜组成同轴结构，被测凸非球面与折反式部分补偿器共轴。根据光线追迹和三级像差理论，推导并计算折反式部分补偿器在检验光路中的初始结构参数，采用光学设计仿真软件作为设计平台，设置系统初始参数、优化变量、优化目标和优化操作数并进行优化，实现凸非球面反射镜全口径面形误差的检测。本发明简单快速易实现；分析全面合理；凸非球面的像差得到了很好的补偿，部分补偿器的设计难度得以简化。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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