二氧化碳气泡机

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201520139547.X
IPC分类号：C02F1/00;C02F1/68
申请日期：
2015-03-10
申请人：
上海巨仁电子科技有限公司

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著录项信息

专利名称	二氧化碳气泡机
申请号	CN201520139547.X	申请日期	2015-03-10
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C02F1/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C02 水、废水、污水或污泥的处理 C02F 水、废水、污水或污泥的处理（通过在物质中产生化学变化使有害的化学物质无害或降低危害的方法入A62D 3/00；分离、沉淀箱或过滤设备入B01D；有关处理水、废水或污水生产装置的水运容器的特殊设备，例如用于制备淡水入B63J；为防止水的腐蚀用的添加物质入C23F；放射性废液的处理入G21F 9/04）〔3〕 C02F1/00 水、废水或污水的处理（C02F 3/00至C02F 9/00优先）〔3〕	IPC分类号	C;0;2;F;1;/;0;0;;;C;0;2;F;1;/;6;8查看分类表>
申请人	上海巨仁电子科技有限公司	申请人地址	上海市闵行区立跃路1768弄67号第8幢412室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海巨仁电子科技有限公司	当前权利人	上海巨仁电子科技有限公司
发明人	姜道明
代理机构	北京汇信合知识产权代理有限公司	代理人	孙民兴;王维新

摘要

本实用新型发明公开了半导体加工设备领域的一种二氧化碳气泡机。包括二氧化碳注入器、二氧化碳调节器、二氧化碳净化阀、电阻控制器、电阻检测探头、电阻仪和二氧化碳气源，纯水经过二氧化碳注入器调节成富含二氧化碳的纯水，其特征在于高阻值的纯水通过电阻控制器进入二氧化碳注入器，与从二氧化碳气源过来的二氧化碳在二氧化碳注入器内混合，混合后的低阻值纯水由管道输出，二氧化碳气源通过气体过滤器和二氧化碳调节器进入二氧化碳注入器，电阻检测探头设置在出水口，电阻检测探头与电阻仪相连，电阻仪显示输出纯水的电阻值。本实用新型具有操作简单、成本低廉、性能稳定和数字式直接显示等优点。

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