一种坩埚驱动机构

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821439868.1
IPC分类号：C30B35/00;C30B29/06
申请日期：
2018-09-03
申请人：
北京北方华创真空技术有限公司

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著录项信息

专利名称	一种坩埚驱动机构
申请号	CN201821439868.1	申请日期	2018-09-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B35/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B35/00 未包括在其他分类位置中的专门适用于单晶或具有一定结构的均匀多晶材料的生长、制备或后处理的一般装置〔3，5〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;5;/;0;0;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	北京北方华创真空技术有限公司	申请人地址	北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号1幢401室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京北方华创真空技术有限公司	当前权利人	北京北方华创真空技术有限公司
发明人	陈世斌
代理机构	北京维正专利代理有限公司	代理人	罗焕清

摘要

本实用新型公开了一种坩埚驱动机构，包括底座、机架以及坩埚轴，所述机架设置在所述底座上，所述机架上设置有导轨，所述坩埚轴通过固定座固定在所述导轨上，所述固定座与所述导轨滑动连接；所述机架上设置有用于控制所述固定座升降的升降机构，所述固定座底部设置有底盘，所述固定座与所述坩埚轴之间设置有轴承座，所述轴承座内设置有空腔；所述固定座上还设置有用于控制所述坩埚轴旋转的旋转机构；所述坩埚轴包括设置在所述轴承座内的支撑部和设置在所述支撑部顶端的连接部，所述连接部与所述支撑部同心设置并且通过第一法兰盘连接。本实用新型提供的坩埚驱动机构具有方便对坩埚轴进行拆卸的效果。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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